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真空用X轴小型自动平台-5相步进电机
可用于真空腔内的小型自动平台。体积小,不浪费真空腔的空间。向导▶在电机部,和极限位置传感器部处,附有1m长的镀有聚四
西格玛精密平台(压电陶瓷)
采用了独特的数字位移传感器,实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。◦采用了独特的数字位移传